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P73.Z200大行程壓電物鏡定位器

更新時間: 2020-11-30

P73.Z200為大行程壓電物鏡定位器,Z軸直線運動范圍可200μm采用柔性鉸鏈設計機構,無摩擦、運動直線性好且閉環型號定位精度高。分離式螺紋適配器設計,可適配多種型號的顯微鏡,廣泛應用于大范圍顯微成像、雙光子顯微鏡等領域。

典型應用

• 三維成像

 干涉/計量

 表面結構分析

 共焦顯微

高穩定性、長使用壽命

P73.Z200壓電物鏡定位器體積小巧、結構緊湊、性價比高,可以與市面上很多規格型號的顯微物鏡配套。物鏡定位器內置高可靠性壓電陶瓷,與優異的機械結構相結合,具有穩定性好、使用壽命長等優點。

應用分析實例

技術參數

型號P73.Z200

運動自由度Z

行程范圍(0~120V)160μm

行程范圍(0~150V)200μm

閉環傳感器類型SGS

閉/開環分辨率11/5nm

閉環線性度0.1%F.S.

閉環重復定位精度0.05%F.S.

推/拉力80/10N

運動方向剛度0.25N/μm

空載諧振頻率210Hz

閉/開環空載階躍時間20/10ms

承載能力0.2kg

靜電容量7.2μF

材質鋼、鋁

重量360g

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