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XY中空式大行程直線壓電掃描臺

更新時間: 2020-10-19

P17系列壓電掃描臺是專門為需要大通光孔徑、大位移行程的應用而研發設計的二維掃描臺。臺體采用機構放大設計原理,內置高可靠性壓電陶瓷,可以實現XY軸187.5μm的掃描范圍,通光孔為60×60mm,在樣品精密定位、掃描顯微、干涉等領域得到了廣泛的應用。

特點

XY二維運動,位移可達187.5μm

 承載能力1kg

 通孔尺寸:60×60mm

 分辨率可達5nm

 可選配閉環傳感器

 

典型應用

• 圖像處理與穩定

 掃描顯微

 干涉/計量

 表面檢測

 晶圓定位

 微操作

 

頻率負載曲線

穩定性好 響應速度快

P17系列壓電掃描臺為壓電陶瓷驅動快速、高精度掃描臺,可以實現XY軸187.5×187.5μm的位移行程,優異的結構設計無摩擦、導向精度高、響應速度快、響應時間可達5毫秒。閉環版本采用高精度的傳感反饋,與E00/E01系列閉環控制器配套使用,具有非常高的穩定性。臺體中心60×60mm大通孔,適合工業自動化中的晶圓定位或微操作等應用。

 

階躍時間

P17.XY200S負載10g達滿行程的響應時間約30ms

應用實例

P17系列壓電掃描臺適用于需要大行程高精度的應用,該產品已經成功應用于半導體測試、表面結構分析、顯微成像等領域。與芯明天壓電物鏡定位器配套用于晶圓定位,可帶動晶圓做XY軸187.5μm行程范圍的納米級精密定位。

 

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