芯明天Z向掃描臺配套數字式控制器用于顯微計量
P78.Z100壓電顯微樣品臺
P78系列壓電顯微樣品臺可以帶動樣品以亞納米級分辨率進行高速掃描與定位，是顯微計量學和高分辨率顯微鏡應用的重要功能。配置閉環傳感器，對位移實現實時監測并反饋給閉環壓電控制器，實現納米級精密控制及超高線性度和穩定性。無摩擦柔性鉸鏈導向機構確保實現快速響應、高剛度及毫秒級響應時間，緊湊的外形結構易于集成到顯微儀器設備中。
特性
· 一維Z軸運動
· 運動行程100μm
· 閉環SGS傳感器
· 分辨率可達4nm
· 通孔尺寸120×70mm
· 空載階躍時間5ms
· 空載諧頻200Hz
· 承載能力1kg
· 外形尺寸：154×136×25mm
E53.D數字式伺服控制器
與傳統的控制器相比，數字式伺服壓電控制器具有更高的線性度，操作簡單以及易于控制的優點。E53系列控制器，體積小巧，結構緊湊，且提供了快速響應的實時修正，通過優化傳感伺服模塊從而提高了PI調節與控制的精準度與穩定性，可靠的抗干擾設計保證了控制器的高頻響應速度，從而實現納米定位臺精確、穩定的運動。
特性
· 一通道 閉環控制
· 0~120/150V輸出
· 平均電流60mA
· 放大器帶寬10kHZ
· 通信接口：USB/RS-422/RS-232
· 重量：350g
· 外形尺寸：148×27.5×80mm
